武则天私自设立的内卫，由她本人亲自领导，直属她个人组织，设立是为了查处违律违法的贪官污吏和不合武则天心意的人的。许多大臣，皇室族人闻风丧胆.这个集团成员多，十分隐蔽，集团要求严格。在这样的环境下情报更是成了稀缺资源，为了搞到有利的情报，更是不惜花费重金。御史的地位有了很大的转变，唐朝御史台的长官依然是正长官御史大夫和副官御史中丞。
其下又设立了台院、殿院和察院三个分支机构，在三个机构中任职的官员分别称为侍御史、殿中侍御史和监察御史，他们的执掌和分工有一些差别，但是总的来说都可以奏劾百官的不法行为。其中，又以监察御史的权限最为宽泛，人员数目也最多，是唐代监察官中的主力。为了扭转御史台官员在士人心目中的不良印象，重新激发起士人们担任监察官员的热情，唐代统治者在御史制度设计上花费了很多心思。从品级上来说，监察御史的官品只有八品，处于官僚序列的中下层，连普通的县令都不如，但皇帝却特意为这些监察官员提供了许多其他官员无法得到的优厚待遇。
首先，绝大部分五品以下的官员都没有参加朝会的权力，只能在大型典礼和节日时面见皇帝，但是监察御史属于“常参官”，可以参加日常举办的朝会，经常能得向皇帝当面提意见的机会。唐代与南朝不同，皇帝的权力和权威都很大，完全可以因为一己的爱憎提拔或者贬黜官员，常参官经常与皇帝接触，意味着有很多机会与皇帝建立起个人信赖关系，得到皇帝本人的赏识，这对于他们日后的仕途显然有着巨大的推进作用。
其次，唐朝监察官员只对皇帝本人负责，不需要听从任何其他人的指令，因此也不需要对其他任何官员卑躬屈膝。按照唐代官僚的一般惯例，品级低的官员见了品级高的官员要行下级之礼，路上遇见需要让品级高的官员先走，但御史通常却不用理会这些规矩，他们中的许多人即使遇见了宰相也是以平辈身份行礼，即使遇见了太子也能与之并肩行走，因为不一定哪一天这些高官们就会成为御史审问的对象。
由于监察御史有参加朝会的权力，他们可以在朝会中对参会官员提出弹劾，被弹劾者不论官职多高，遭到弹劾时“俯偻趋出”，站在朝堂中央恭听御史对自己的指控。从名义上来说，侍御史、监察御史等人接受御史台长官御史大夫、御史中丞的领导，但实际上在唐代前期，监察御史遇见了需要弹劾的问题，完全可以越过自己的长官，直接向皇帝汇报。
唐代前期御史可以不通过其他任何官员
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