周晓东此时继续向杨力持解释道:“这种汞灯光源系统的光刻机设备到时候不合适加工更先进的大规模集成电路设备后依然可以用来加工分立器件、功率器件、模拟芯片等产品,这样的光刻机设备需求量是相当大的,我们并不担心这种设备会被淘汰掉。”

“另外我们研制的电子束系统和离子源其实就是为更先进光源系统做准备的,对于研制出这些高品质的高功率光源系统我本人还是非常有信心的。”

周晓东开口说道:“我们国内的科学家在十多年前就在实验室里面利用利用激光等离子体软X射线为激励源,观察到离子性氟化氩准分子达到了一百二十五纳米波长的真空紫外辐射,也有这方面的理论模型,我们要做的是让这些理论研究变成实实在在的可用光源系统,然后围绕这些光源系统开发出光刻机的镜头组系统和光刻胶产品。”

“其实我们国内在半导体设备理论研究水平上是不比国外差的,最难的还是在材料制备工艺技术和器件的加工工艺技术上,所以我们现在在这方面投入是很大的,这个可能需要十年甚至更久的时间,一点一点地啃下这里面的硬骨头。”

周晓东开口说道:“这中间可能还会面临失败的风险,需要重新想别的技术方案,不过无论如何我们也要咬着牙把这些挡在面前的拦路虎给搬开,只要我们攻克这些技术难题,在半导体芯片制造环节上就再也不用被人掐脖子了。”

杨力持此时看着周晓东说道:“看来你们找到了国内半导体产业突围的真正办法,国内也只有自己能研制出半导体材料和设备这种最底层的东西才是出路,我看国内不必着急去寻找海外公司在国内投资建设更多的八英寸集成电路生产线,这既换不来技术,还把国内的市场给丢了。”

周晓东看到杨力持一副深受触动的神情,说出这样的话来,心中暗喜:自己这次能让眼前这位大领导在半导体产业上改变想法可谓是取得了重大成果了。

在前世记忆当中,国内高层在两千年之后掀起了一次轰轰烈烈的投资建设晶圆厂的热潮,当时采取的方式是让不少的半导体芯片产商在国内投资建设晶圆厂,不过取得的效果并不是太好,在先进制程工艺上依然跟海外半导体芯片产商有相当大的技术差距。

现在他让大领导改变了主意,那么国内高层将大量的资源倾注到半导体设备研制方面就完全不一样了,因为高层一旦做出了计划,那么这样的计划就能延续非常长,这样对周晓东的来说那是能起到相当大的助力。

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